電子工業(yè)廢氣VOCS主要來源于對電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工序。一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點，電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些氣體。

電子廠廢氣處理方法（1）預處理階段：一般采用噴淋塔先對廢氣進行預處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。（2）主要處理階段：在此階段，比較常見而有效方法有：UV光解，活性炭吸附、生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。

丹陽電子廠廢氣處理工藝電子廠廢氣處理行業(yè)里不斷的實行者，我們經(jīng)過多年的實踐和總結(jié)，今天和大家分享一下活性炭吸附塔的相關資料。

活性炭吸附塔又可稱為活性炭吸附器、活性炭吸附過濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過濾吸附異味的環(huán)保設備產(chǎn)品，活性炭吸附塔塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等材質(zhì)制作?；钚蕴课剿哂形叫矢?、適用面廣、維護方便、能同時處理多種混合廢氣等優(yōu)點，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害氣體和消毒除臭等作用。

電子工業(yè)從產(chǎn)品來分的話，自上而下可以分為電子整機產(chǎn)品和電子基礎產(chǎn)品，還有電子材料等三個部分，其中包含有：光電器件、半導體器件、電子元件及電子終端產(chǎn)品等方面。電子廠廢氣的主要來源是對電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯方等。

丹陽電子廠廢氣處理工藝的幾種方法進行簡單介紹一下：

1、焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣；

2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求；

3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯(lián)用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態(tài)廢棄物需要進一步處理。該方案與生產(chǎn)設備、生產(chǎn)工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果；

4、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數(shù)十倍強度）在設備內(nèi)，強裂解惡臭物質(zhì)分子鏈，改變物質(zhì)結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)，裂解、氧化成為低分子無害物質(zhì)，如水和二氧化碳等；

5、高溫等離子凈化法：經(jīng)過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質(zhì)原子，有機物凈化率在90%左右。